一、行業簡介
半導體、集成電路芯片及(jí)封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的(de)純水、高純水、超純水清洗半成(chéng)品、成品(pǐn)。集成電路(lù)的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我(wǒ)國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
二、應用範圍
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化(huà)、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品(pǐn)等(děng)用純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半導體芯片、半導體封裝(zhuāng) 、引線櫃架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔淨產品及各種元器件(jiàn)等生產工藝用純水。
三(sān)、工藝簡介
1、係統(tǒng)模塊(kuài)化設計,共分四部分:預處理係統、反滲透係統、EDI係統、終端供水係統。
2、預處理係統主要用來去除原水中的懸(xuán)浮物、濁度、色度、膠(jiāo)體以及(jí)部分有機物,保證產水符合反滲(shèn)透係統的進水水質要求。
3、反滲透係統(tǒng)主要用來去除原水中溶解性鹽類物質、細菌(jun1)、熱源(yuán)等,保證產水符合EDI係(xì)統(tǒng)進水水質要(yào)求。
4、EDI係統主要用來對反滲透產水進行進一步脫除溶解性的小分子鹽(yán)類物質,產水達到電阻率達到15MΩ.cm以上(shàng)。
5、終端供(gòng)水係統(tǒng)主要是用來將合格水輸(shū)送至(zhì)用水點(diǎn),輸送過程中對EDI產(chǎn)生進行最後的離子交換脫(tuō)鹽,使得產水達到電阻率達到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集中控製。
四、技術特色
1、係(xì)統模塊化設計,占地麵積小,操作維護方便,安裝方(fāng)便快捷,整(zhěng)體美(měi)觀。
2、整套係(xì)統(tǒng)實現全(quán)自動化運行,並且手動與自動自由切換。
3、設備產水水質穩定,運行(háng)連續穩定。
4、係統工藝先進,無(wú)需化學藥品再生,無危害性廢液排放。
5、係統節水率高,係(xì)統回(huí)收率在75%以(yǐ)上。
6、關鍵部(bù)位采用在線儀表監測,適時數據上傳。
五、設備參數(shù)
1、係統回收率(lǜ):
超濾≥90%
一級反滲透≥75%
二級反滲透≥85%
EDI係統≥90%
2、設備產(chǎn)水符合《電子超純(chún)水(shuǐ)國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半導體(tǐ)工業純水指標。
3、單支(zhī)膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。